مطالب تخصصی و فوق تخصصی (برق _الکترونیک) و (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)

_ بخش نانو پلاسمونیک و اُلگوی نانو الکترونیک

اُلگوی نانو الکترونیکو بررسی شیوه دیآفراگم نانو پلاسمونیک متمرکز با توزیع میدان نانو الکتریکی در ساختار دیافراگم در هم پیچیده در یک فیلم آلومینیومی‌در طول موج کمتر از ۲ نانومتر

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

نکته: سیستم لیتوگرافی پلاسمونی با کاوشگر تماس به صورت نانو دیآفراگم به شکل (درهم پیچیده) در یک صفحه فیلم فلزی که در بخش پایین (ابعاد کمتر از 10 نانو متر) پوشانده شده است ، تا یک پرتو لیزر دیودی با طول موج 405 نانومتر را بر روی دیآفراگم نانو متمرکز کند.

سیستم لیتوگرافی با استفاده از چنین بالا انتقال نانو دیافراگم وضوح زیر از حد پراش دست یافته اند، و توسعه طرح‌های جدید از نانولیتوگرافی پلاسمونیک را آغاز کرده اند برای دستیابی به وضوح نوری بالا ، فاصله بین دیافراگم و مقاومت در برابر عکس باید دقیقاً در محدوده چند ده نانو متر حفظ شود ، زیرا اتصال میدان نزدیک به فاصله بسیار حساس است. علاوه بر این دشواری ، یک اشکال اصلی لیتوگرافی نزدیک میدان ، کم بودن توان الگوسازی است. برای الگوسازی سریع مقیاس نانو ، ویژگی‌های مولکول به روش چاپ تماس ، فرآیندهای موازی با آرایه‌های دو بعدی کنسول یا آرایه‌های قلم پلیمری انعطاف پذیر برای نانو لیتوگرافی پِلاسمونی (10 نانو متری) و ساخت اَدوات نانو اِلکترونیک انجام میگیرد.

فرآیند موازی با یک آرایه قلم فقط برای یک الگوی آرایه از همان ساختار در نظر گرفته شده بود ، زیرا هر قلم آرایه نمی‌تواند به طور جداگانه فعال شود. برای تولید الگوهای مقیاس نانو در مقیاس بزرگتر ، به یک آرایه پروب نیاز داریم که عناصر آن به طور جداگانه فعال شوند. استفاده از آرایه‌‌‌ای از پروبهای نانو دیافراگم در یک فرآیند موازی ، راهی امیدوارکننده برای تحقق لیتوگرافی نوری با توان بالا و نزدیک میدان است. با این حال ، در عمل پیاده سازی یک آرایه کاوشگر نوری که هزاران یا میلیون‌ها عنصر را برای ضبط میدان نزدیک نگه می‌دارد ، دشوار است ، زیرا فاصله بین هر کاوشگر و بستر الگو باید در محدوده دهها نانومتر به طور دقیق حفظ شود. هر کاوشگر نوری دارای یک لایه فیلم نازک جامد اضافی در زیر دیآفراگم است تا بتواند به صورت فیزیکی با بستر تماس گرفته و فاصله شکاف را در طول اسکن حفظ کند.

برای نانو لیتوگرافی پلاسمونی در حالت تماس ، یک کاوشگر نوری که دارای یک دیآفراگم نانو با قابلیت انتقال بالا و پهن در یک فیلم فلزی است. برای محافظت از دیآفراگم در برابر آلودگی و سایش ، کاوشگر نوری با یک ماده دی الکتریک در سوراخ پر شده و با یک لایه محافظ دی الکتریک پوشانده شده است که ضخامت آن توسط فاصله شکاف بین کاوشگر و بستر تنظیم می‌شود. توزیع میدان الکتریکی را در ساختار دیافراگم در هم پیچیده در یک فیلم آلومینیومی‌در طول موج کمتر از ۲ نانومتر با یک پرتو برخورد قطبی محور مستقیم با استفاده از نانو لیتوگرافی پلاسمونی در حالت تماس ابعاد در ساخت اَدوات و اَفزاره‌های نانو الکترونیکمحاسبه می‌شود برای شبیه سازی فرآیند واقع گرایانه الگوبرداری بر روی مقاومت در برابر ساخت اَدوات و اَفزاره‌های نانو الکترونیکشدت موج صفحه برخورد رسانه دی الکتریک شیشه سیلیس است که در طول موج مورد شفاف و به راحتی با‌های پلاسما رسوب شیمیایی بخار نانو ذرات پوشیده شده است.

نتیجه گیری :

سیستم لیتوگرافی پلاسمونی با کاوشگر تماس به صورت نانو دیآفراگم به شکل (درهم پیچیده) در یک صفحه فیلم فلزی که در بخش پایین (ابعاد کمتر از 10 نانو متر) پوشانده شده است ، تا یک پرتو لیزر دیودی با طول موج 405 نانومتر را بر روی دیآفراگم نانو متمرکز کند.

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک

_ بخش نانو پلاسمونیک و اُلگوی نانو الکترونیک

اُلگوی نانو الکترونیکو (نانو پلاسمونیک) کاربردی از امواج نانو الکترومغناطیسی در مشخصات نانو متری در ساختار‌های دو بعدی ، تک بعدی و حتی صفر بعدی

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

نکته :در ساختمان تشکیل دهنده نانو ساختار‌های (نانو پلاسمونیک) حجم ایجاد شده میدان الکترومغناطیسی به صورت موضعی ، فشرده و بهبود یافته است. تغیرات اندک در دی الکتریکِ اطراف نانو حجم، بر روی تشدید پلاسمون‌های سطحی اثر می‌گذارد، به طوری که این تغییرات خود را در میزان پرتو پراکنده شده ، پرتو جذب شده و یا تغییر طول موج آن نشان می‌دهد.

نانو ساختار به عنوان هر ساختار با یک یا چند بعد تعریف می‌شود و در محدوده مقیاس نانو متر اندازه گیری می‌شود. نانو ساختار‌ها به مواد یا سازه‌هایی اطلاق می‌شوند که حداقل یک بعد بین 1 تا 100 نانو متر داشته باشند. اهمیت مقیاس نانو در تغییر خواص و ویژگیهای مواد در این ابعاد است. خواصی مانند رسانایی الکتریکی، خواص الکترو مغناطیسی و غیره. شروع تغییر خواص مواد با کوچکسازی آن بیش از هر چیز به نوع ماده و خاصیت مورد نظر بستگی دارد. به عنوان مثال با کوچک شدن ابعاد یک ماده، عموما برخی از خواص الکترو مغناطیسی نانو مولکولی مواد مانند رسانایی ذرات نانو در مواد بهبود مییابد. این افزایش استحکام تنها در محدوده چند نانومتر اتفاق نمیافتد و ممکن است استحکام مادهای چند ده و حتی صد نانومتری نیز بسیار بیشتر از ماده توده‌‌‌ای بزرگ مقیاس باشد. با استفاده از مشخصه‌های اپتیکی می‌توان این تغییرات را اندازه گیری کرد. نوسان الکترون‌های سطحی و میدان الکتریکی اطراف آنها را در تشدید پلاسمون‌های سطحی موضعی نشان می‌دهد.

به عنوان مثال با کوچک شدن ابعاد یک ماده نانو ساختار‌های (نانو پلاسمونیک) ، عموما برخی از خواص مکانیکی مواد مانند استحکام بهبود مییابد. این افزایش استحکام تنها در محدوده چند نانومتر اتفاق نمیافتد و ممکن است استحکام مادهای چند ده و حتی صد نانومتری نیز بسیار بیشتر از ماده تودهای بزرگ مقیاس باشد. از طرفی تغییر برخی خواص همانند رنگ و خواص مغناطیسی ممکن است در ابعاد تنها چند نانومتر رخ دهد. نانو پلاسمونیک بر اساس فرآیند بَر هم کنش بین امواج الکترو مغناطیسی و الکترون‌های رسانش در فلزات با ابعاد نانو بیان شده است، به صورت تحلیلی دلیل افت سریع انرژی الکترون‌ها در عبور از فلزات میباشد و نتیجه گرفت این انرژی صرف حرکت تجمعی و نوسان گونه الکترون‌های آزاد فلز می‌شود و آن را پلاسمون نامید. این نانو ساختار‌ها متشکل از فلز و دی الکتریک می‌باشد که ابعاد آنها زیر طول موج تحریکی ( طول موج پرتویی که باعث تحریک امواج پلاسمونیک می‌شود) قرار دارد.

نتیجه گیری :

در ساختمان تشکیل دهنده نانو ساختار‌های (نانو پلاسمونیک) حجم ایجاد شده میدان الکترومغناطیسی به صورت موضعی ، فشرده و بهبود یافته است. تغیرات اندک در دی الکتریکِ اطراف نانو حجم، بر روی تشدید پلاسمون‌های سطحی اثر می‌گذارد، به طوری که این تغییرات خود را در میزان پرتو پراکنده شده ، پرتو جذب شده و یا تغییر طول موج آن نشان می‌دهد.

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک

_ بخش نانو پلاسمونیک و اُلگوی نانو الکترونیک

اُلگوی نانو الکترونیکو پلاسمونیک ساخت و تولید سیستم‌های نانو الکتریکی Nano System (اَبعاد 1 تا 100 نانومتر)

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید )

نکته : سیستم‌های نانو Nano System از مواد آلی یا معدنی مختلفی تشکیل شده اند که قابلیت و ویژگی‌های آنها مانند اندازه آنها از 1 تا 100 نانومتر هستند. ذرات نانو اجزای اصلی تشکیل دهندهسیستم‌های نانو Nano System میباشند .

اولین توصیف گسترده نانو تکنولوژی به هدف خاص فناوری دستکاری دقیق اتم‌ها و مولکول‌ها برای ساخت محصولات در مقیاس کلان اشاره دارد که به عنوان نانو سیستم Nano System نیز شناخته می‌شود.

نانو سیستم Nano System عملکردی در مقیاس مولکولی است. این کار هم کارهای فعلی و هم مفاهیم پیشرفته تر را در بر می‌گیرد. به معنای اصلی آن ، فناوری نانو به توانایی پیش بینی شده برای ساخت اقلام از پایین به بالا ، با استفاده از تکنیک‌ها و ابزارهایی گفته می‌شود که برای ساخت محصولات کامل و با کارایی بالا تولید می‌شوند. نانو سیستم Nano System ایده "مونتاژ" در مقیاس نانو را ارائه داد که می‌تواند کپی خود و خود را بسازد. از دیگر موارد پیچیدگی دلخواه با کنترل اتمی‌در نانو سیستم Nano System‌ها بسیار گسترده و کاربردی میباشد. نانو کامپیوتر و نانو اسمبلر‌ها نیز زیر گروه نانو سیستم‌ها Nano System میباشند. نانو ذرات اجزای اصلی تشکیل دهنده تمام نانو سیستم‌ها Nano system میباشند. برای تولید ذرات نانو با کمک فناوری نانو می‌توان در اتمها از طریق کنترل خصوصیات تغییراتی ایجاد کرد. زمانی که مواد در مقیاس نانو مطالعه و بررسی می‌شوند واکنش‌های و رفتار اتمها در مقایسه با حالتی که مطالعه در سطح مولکولی انجام می‌شوند کاملا متفاوت است چرا که در این قلمرو خصوصیات فیزیکی مواد تغییر می‌کند این درست مانند این است که در توپی را در محفظه‌‌‌ای بیندازید و توپی دیگری را از آن محفظه بیرون آورید. تفاوت در قلمرو نانو به اندازه‌‌‌ای است که حتی رنگ، نقطه ذوب، خصوصیات شیمیایی و غیره مواد در خارج از این محدوده کاملا متفاوت است. با رویکرد تکنولوژی به سمت تجمع مدارات الکترونیک نوری، مشکلات ساخت و پدیده‌هایی که به جلوگیری از فشرده سازی بیشتر ساختار کمک می‌کرد، باعث شد تا استفاده از ساختارهای پلاسمونیک و امواج پلاسمونیک مورد بررسی و استفاده قرار بگیرد. این نانو ساختار‌ها متشکل از فلز و دی الکتریک می‌باشد که ابعاد آنها زیر طول موج تحریکی ( طول موج پرتویی که باعث تحریک امواج پلاسمونیک می‌شود) قرار دارد.

نتیجه گیری :

سیستم‌های نانو Nano System از مواد آلی یا معدنی مختلفی تشکیل شده اند که قابلیت و ویژگی‌های آنها مانند اندازه آنها از 1 تا 100 نانومتر هستند. ذرات نانو اجزای اصلی تشکیل دهندهسیستم‌های نانو Nano System میباشند .

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک

_ بخش نانو پلاسمونیک و اُلگوی نانو الکترونیک

اُلگوی نانو الکترونیکو پلاسمونیکی ، برای مثال آزمایش ، امواج مایکروویو و ساختار‌های فلزی بزرگ ‌تر

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

نکته: از آنجایی که پارامتر‌های مواد به طور قابل توجهی با فرکانس تغییر می‌کنند. به طور خاص، این بدان معناست که آزمایش ‌های مدل با، برای مثال، امواج مایکروویو و ساختار‌های فلزی بزرگ ‌تر، نمی‌‌توانند جایگزین آزمایش ‌ها با نانو ساختار‌های فلزی در فرکانس‌های نوری شوند.

نَوسانات چگالی بار سطحی مرتبط با نانو پلاسمون‌های سطحی در سطح مشترک بین یک فلز و یک دی الکتریک می‌تواند باعث ایجاد میدان‌های نزدیک نوری به شدت افزایش یافته شود که از نظر فضایی در نزدیکی سطح فلز محصور شده اند. به طور مشابه، اگر گاز الکترون در سه بعد محصور شود، مانند یک ذره کوچک، جابجایی کلی الکترون‌ها نسبت به شبکه با بار مثبت منجر به نیروی بازگردانی می‌شود که به نوبه خود باعث ایجاد ذره- پلاسمون خاص می‌شود. رزونانس بسته به هندسه ذره. در ذرات با شکل مناسب (معمولاً نوک تیز)، تجمع بار موضعی که با میدان‌های نوری به شدت افزایش یافته همراه است، می‌تواند رخ دهد.تغییر برخی خواص همانند رسانایی در نانو ترانزیستور‌ها و خواص الکترو مغناطیسی در نانو سیم‌ها ممکن است در ابعاد تنها چند نانو متر رخ دهد.تشدید پلاسمون‌های سطحی در ساختار‌های با ابعاد نانو متری، تشدید پلاسمون‌های سطحی موضعی نامیده می‌شود. الگو برداری از مواد مغناطیسی در آرایه‌هایی از نقطه‌های نانومقیاس می‌تواند منجر به تغییر بسیار قوی و بسیار قابل کنترل در قطبش نور هنگامی‌که پرتو از آرایه منعکس می‌‌شود، شود. این کشف می‌تواند حساسیت اَجزای نوری را برای کاربرد‌های مخابراتی و حسگر زیستی افزایش دهد. جفت شدن بین نور و مغناطیس در نانو ساختار‌های اِلکتریکی پِلاسمون های سَطحی موضعی (Localized Surface Plasmon) از فعل و انفعالات نانو الکترونیکی کوانتومی‌ناشی می‌شود. این فعل و انفعالات منجر به اثرات مغناطیسی اپتیکی می‌شود که ویژگی‌ها، مانند محور قطبش یا شدت نور را تغییر می‌دهد. تعاملات بین نور و ماده در مقیاس نانو افزایش می‌یابد. این یک انگیزه کلیدی در زمینه پلاسمونیک است که بر همکنش نور با نانو ساختار‌های فلزی موجب ساخت افزاره‌های نانو الکترونیکمیگردد. در ساختار نانو ساختار‌های اِلکتریکی پِلاسمون های سَطحی موضعی (Localized Surface Plasmon) یک نانو ذره فلزی در اندازه نانو بسیار شبیه یک آنتن برای طول موج‌های مرئی عمل می‌کند. چنین آنتن‌هایی برای ما در بسیاری از دستگاه‌های روزمره که بر روی امواج رادیویی و میکروبی بسیار طولانی تر کار می‌کنند از پدیده‌‌‌ای به نام تشدید شبکه سطحی استفاده کردند که در آن همه نانو ذرات، آنتن‌های کوچک، به صورت هماهنگ در یک آرایه تابش می‌کنند.

کلید این کار مونتاژ نانو آنتن‌های مغناطیسی در مقیاس طولی است که با طول موج نور ورودی مطابقت دارد. در آرایه ‌های تناوبی، نانو ذرات به شدت با یکدیگر بَرهمکنش می‌کنند و باعث نوسانات جمعی می‌‌شوند. چنین رفتاری قبلاً در نانو ذرات فلزات مشاهده میشوند.

نتیجه گیری :

از آنجایی که پارامتر‌های مواد به طور قابل توجهی با فرکانس تغییر می‌کنند. به طور خاص، این بدان معناست که آزمایش ‌های مدل با، برای مثال، امواج مایکروویو و ساختار‌های فلزی بزرگ ‌تر، نمی‌‌توانند جایگزین آزمایش ‌ها با نانو ساختار‌های فلزی در فرکانس‌های نوری شوند.

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک

_ بخش نانو پلاسمونیک و اُلگوی نانو الکترونیک

اُلگوی نانو الکترونیکو پلاسمونیک بهینه سازی معماری مدار‌های نانو نوری چند عنصری و چند فناوری سنتی با استفاده از رفتار نوری

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

نکته: بهینه سازی معماری مدارهای نوری چند عنصری و چند فناوری سنتی با استفاده از رفتار نوری منحصر به فرد نانو نوری امکان پذیر است."یکپارچه سازی خود" یکپارچه را می‌توان با لایه بندی یکی از دیگر برای ایجاد جلوه‌های نوری کلی به دست آورد.

ادغام فضایی را می‌توان با سازماندهی توابع مختلف نوری در یک ساختار آرایه از طریق تکرار الگوی نانو انجام داد.ادغام ترکیبی با افزودن یک لایه (ها) نانو نوری به مواد نوری کاربردی حاصل می‌شود.

از طریق ترکیب مناسب مواد و ساختارها ، دستگاههای نانو نوری می‌توانند هرگونه عملکرد نوری منفعل از جمله فیلتر قطبش ، عقب ماندگی فاز ، فیلتر طیفی و مدیریت انتشار (به عنوان مثال ، لنزها و تقسیم کننده‌های پرتو) را انجام دهند. عملکردهای مختلفی را می‌توان برای برنامه‌های کاربردی مبتنی بر فضای آزاد و موج طراحی کرد. دستگاه‌های نانو نوری نیز می‌توانند طوری طراحی شوند که در هر محدوده طول موج کار کنند. روش اصلی برای طول موج UV ، قابل مشاهده و IR با تغییرات مناسب در ابعاد و مصالح ساختاری قابل استفاده است. علاوه بر این ، آنها می‌توانند هسته یک سیستم نوری را تشکیل دهند. کاربرد‌های عملی نانو نوری به یک سیستم نوری کامل متشکل از مواد نانو طرح دار و مواد مجاور شامل بستر نوری و پوشش‌های فیلم نازک نیاز دارد. ساختار‌های نانو نوری به عنوان ترکیبی از ویژگی‌های مادی و فیزیکی تعریف می‌شوند.

نتیجه گیری :

بهینه سازی معماری مدارهای نوری چند عنصری و چند فناوری سنتی با استفاده از رفتار نوری منحصر به فرد نانو نوری امکان پذیر است."یکپارچه سازی خود" یکپارچه را می‌توان با لایه بندی یکی از دیگر برای ایجاد جلوه‌های نوری کلی به دست آورد.

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک

_ بخش نانو پلاسمونیک و اُلگوی نانو الکترونیک

(اُلگوی نانو الکترونیکو پلاسمونیک) در طراحی نانو ساز‌هایی مانند نانو ترانزیستور‌ها و نانو دیود‌ها ، نانو سوئیچ‌ها و دروازه‌های نانو لوژیکی

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

نکته: الگوی میکرو/نانو یکی از تکنیک‌های کوچک سازی الگوها است ، به ویژه برای لوازم الکترونیکی. امروزه با استفاده از لیتوگرافی نرم به استانداردی در مهندسی مواد زیستی و تحقیقات بنیادی در زیست شناسی سلولی تبدیل شده است. به طور کلی از روش‌های سنگ نگاری استفاده می‌کند اما تکنیک‌های زیادی توسعه یافته است. ساخت دسته‌‌‌ای ریزساختارها به یک الگوی الگوی سطح کم هزینه و توان بالا نیاز دارد.

الگوی میکرو/نانو یکی از تکنیک‌های کوچک سازی الگوها در طراحی نانو ساز‌هایی مانند نانو ترانزیستورها و نانو دیودها ، نانو سوئیچ‌ها و دروازه‌های نانولوژیکی ، به منظور طراحی رایانه‌های مقیاس نانو با قابلیت‌های مقیاس دوگانه بسیار مهم است. همه سیستم‌های بیولوژیکی زنده به دلیل برهم کنش‌های مولکولی زیر سیستم‌های مختلف عمل می‌کنند. اجزای سازنده مولکولی (پروتئین‌ها و اسیدهای نوکلئیک ، لیپیدها و کربوهیدرات‌ها ، DNA و RNA) را می‌توان به عنوان یک استراتژی الهام بخش در مورد چگونگی طراحی NEMS و MEMS با عملکرد بالا که دارای ویژگی‌ها و ویژگی‌های مورد نیاز هستند ، در نظر گرفت. علاوه بر این ، روشهای تحلیلی و عددی برای تجزیه و تحلیل دینامیک و هندسه سه بعدی ، پیوند و سایر ویژگی‌های اتمها و مولکولها در دسترس است. بنابراین ، الکترو مغناطیسی و مکانیکی ، و دیگر خواص فیزیکی و شیمیایی قابل مطالعه است. نانو ساختارها و نانو سیستم‌ها می‌توانند به طور گسترده در پزشکی و بهداشت مورد استفاده قرار گیرند. از جمله کاربرد‌های احتمالی فناوری نانو می‌توان به موارد زیر اشاره کرد: سنتز دارو و تحویل دارو (پتانسیل درمانی به دلیل تحویل مستقیم موثر انواع جدید دارو‌ها به محل‌های مشخص شده در بدن بسیار افزایش می‌یابد) ، جراحی نانو و نانو تراپی ، سنتز و تشخیص ژنوم ، محرک‌ها و حسگرهای مقیاس نانو (تشخیص و پیشگیری از بیماری) ، طراحی و کاشت اندامهای مصنوعی غیر قابل رد و طراحی نانو مواد با کارایی بالا میباشد.این مهم است که این فناوری‌ها ساخت و تولید مواد ، دستگاه‌ها و سیستم‌ها را تغییر دهد.

نانو لیتوگرافی شاخه‌‌‌ای از فناوری نانو است که به مطالعه و کاربرد نانو ساختار ساختارهای مقیاس نانومتری می‌پردازد ، به این معنی که نانو الگوهایی با حداقل یک بعد جانبی بین اندازه یک اتم جداگانه و تقریباً 100 نانومتر وجود دارد ، اما امروزه هر زمان که این اصطلاح با فناوری نانو مرتبط باشد ، چیزی متفاوت می‌فهمیم. نانو لیتوگرافی به عنوان مثال در هنگام نانوساختن مدارهای مجتمع نیمه‌هادی پیشتاز (نانو مدار) ، برای سیستم‌های نانوالکترومکانیکی (NEMS) یا تقریباً برای هر کاربرد اساسی دیگر در زمینه‌های مختلف علمی‌در زمینه نانو جستجو استفاده می‌شود. این فناوری می‌تواند در تولید نانو انواع مدارهای یکپارچه نیمه رسانا (IC) ، NEMS و برای کاربردهای مختلف در تحقیقات مناسب باشد. اصلاح تراشه‌های نیمه‌هادی در مقیاس نانو (در محدوده ^10-9 متر) نیز امکان پذیر است.

نتیجه گیری :

الگوی میکرو/نانو یکی از تکنیک‌های کوچک سازی الگوها است ، به ویژه برای لوازم الکترونیکی. امروزه با استفاده از لیتوگرافی نرم به استانداردی در مهندسی مواد زیستی و تحقیقات بنیادی در زیست شناسی سلولی تبدیل شده است. به طور کلی از روش‌های سنگ نگاری استفاده می‌کند اما تکنیک‌های زیادی توسعه یافته است. ساخت دسته‌‌‌ای ریزساختارها به یک الگوی الگوی سطح کم هزینه و توان بالا نیاز دارد.

پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)

دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک